细美事申请衬底处理方法和装置专利，能够蚀刻衬底上的薄膜

金融界2025年5月10日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“衬底处理方法和衬底处理装置”的专利，公开号CN119965117A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开一种衬底处理方法及衬底处理装置，衬底处理方法用于以原子层为单位蚀刻形成在衬底上的薄膜，所述衬底处理方法包括：向腔室中的容纳衬底的处理空间供给改性气体以对薄膜的表面进行改性并形成具有第一厚度的改性膜的改性步骤；向处理空间供给前体以使前体被吸附到薄膜的改性表面上的表面吸附步骤；以及向吸附有前体的衬底供给热量以蚀刻薄膜的吸附有前体的改性表面的蚀刻步骤。表面吸附步骤和蚀刻步骤重复执行多次，直到蚀刻掉具有第一厚度的改性膜。

本文源自：金融界

作者：情报员