北京北方华创微电子申请半导体湿法清洗设备及其自清洗方法专利，解决药液在回收层间隙处积存影响工艺过程等问题

金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体湿法清洗设备及其自清洗方法”的专利，公开号CN119905420A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本申请公开了一种半导体湿法清洗设备及其自清洗方法，涉及半导体领域。一种半导体湿法清洗设备，包括：腔体、承载装置、防护罩和自清洗装置；所述承载装置和所述防护罩均设于所述腔体内，所述防护罩围设于所述承载装置的外侧，所述防护罩包括沿所述腔体的轴向排布且用于回收工艺液体的多层回收腔，相邻两个所述回收腔之间具有间隙；所述自清洗装置包括进液组件和喷淋组件，所述喷淋组件设于所述间隙中，所述进液组件与所述喷淋组件连接，用于向所述喷淋组件输送清洗介质，并通过所述喷淋组件向所述间隙喷淋所述清洗介质。本申请至少能够解决药液在回收层间隙处积存影响工艺过程，造成晶圆受损等问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1028次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

作者：情报员