广西利兴数字科技取得用于晶圆研磨抛光设备专利，形成清洗液循环利用效果

金融界2025年5月7日消息，国家知识产权局信息显示，广西利兴数字科技集团有限公司取得一项名为“一种用于晶圆研磨抛光的设备”的专利，授权公告号CN222818604U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本实用新型属于抛光的设备技术领域，尤其为一种用于晶圆研磨抛光的设备，包括设备主体，所述研磨盘的下方设置有第一漏斗，所述第一漏斗的出水口下方设置有第二漏斗，所述第二漏斗的底部贯通设置有引流箱，所述引流箱的一侧贯通设置有引流管，所述储水箱的顶部设置有循环泵。本实用新型通过安装有第一漏斗和第二漏斗，清洗液将通过研磨盘的表面流入设备主体的内部，之后清洗液将流入第一漏斗内，之后清洗液通过收集盘流入引流箱内，通过循环泵的吸收端吸力，可将储水箱内的清洗液通过引流管吸收进入储水箱内，从而形成了清洗液的循环利用效果，有效的解决了使用后清洗液通常无法循环利用，将通过出水管道排至外界造成浪费的技术问题。

天眼查资料显示，广西利兴数字科技集团有限公司，成立于2023年，位于南宁市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，广西利兴数字科技集团有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，专利信息10条，此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自：金融界

作者：情报员