北京特思迪取得晶圆对心寻边装置专利，提高晶圆加工的质量

金融界2025年5月5日消息，国家知识产权局信息显示，北京特思迪半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆对心寻边装置”的专利，授权公告号CN222813571U，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本申请提供一种晶圆对心寻边装置，涉及半导体制造技术领域，包括用于确定晶圆圆心的定心机构；所述定心机构包括：承载装置，用于放置所述晶圆；至少三组定心装置，以间隔环绕的方式设置在所述承载装置周围，且每组所述定心装置均距所述承载装置中心的距离相等，每组所述定心装置中均具有能够带动所述晶圆移动的凸起结构；同步驱动装置，设置为能够带动所述至少三组定心装置同时转动，在所述至少三组定心装置同时转动时，所述凸起结构推动所述晶圆移动使所述晶圆的圆心与所述承载装置的中心位于同一轴线上。解决了相关技术中晶圆对心不准、误差较大的问题，进而提高晶圆加工的质量。

天眼查资料显示，北京特思迪半导体设备有限公司，成立于2020年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1656.925954万人民币。通过天眼查大数据分析，北京特思迪半导体设备有限公司参与招投标项目106次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息136条，此外企业还拥有行政许可21个。

本文源自：金融界

作者：情报员